更新時間：2023-06-06
質量流量控制器，Z小控制量程低至0-0.5SCCM，采用層流差壓原理，可本地顯示溫度，絕壓，質量流量和體積流量，耐壓1MPa，低壓差條件下亦可使用。內置130種氣體，大大節約用戶成本。反應時間快。
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質量流量控制器是一種廣泛應用于工業生產和科學實驗中的流量控制裝置。與傳統的體積流量計不同，可以精確地測量氣體或液體的質量流量而不受溫度或壓力變化的干擾，能夠提高流程控制的精確度和穩定性，使得生產過程更加可靠和高效。
一、產品系列
MC標準系列
控制響應快、穩定的流量控制器。
MCR大流量系列
精確控制大流量(50-3000slpm)氣體。艾里卡特.R系列閥門為無摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定制閥門。
MCW/MCRW低壓損系列
大限度減小壓損對系統的影響，滿量程壓損低僅為4mbar(0.06psid)；艾里卡特.Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力，是航空航天、環境氣體分析等應用的選擇；大量程：0-500slpm。
MCS/MCRS耐腐蝕系列
所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。
MCE/MCV半導體行業系列
可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統兼容，封閉式閥門設計更是符合半導體行業標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥，專門用于真空應用?？啥ㄖ葡鄳姆栏g系列MCES/MCVS。大量程：0-20slpm。 可定制低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。
二、質量流量控制器常用選配項
.后置閥門，優化真空及背壓應用的控制
.批量控制模式，依靠快速的閥門響應來分配流量，包含在累加器(TOT)功能中
.CSA認證1類2區/ATEX認證1類2區允許設備用于危險環境
.9針或15針D-Sub等連接接口可選
.通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選
.彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合
三、性能參數
| 指標 | MFC |
| 量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....20SLPM |
| 精度 | ±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程） |
| 重復性 | ±0.2% |
| 量程比 | 200:1 |
| 響應時間 | 100ms |
| 標準狀態(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
| 溫度范圍 | -10～50 |
| 零點漂移 | 0.02％ |
| 量程漂移 | 0.02％ |
| 濕度范圍 | 0-100% |
| 測量流量范圍 | 128％（過流率） |
| 大耐壓 | 145psi |
| 輸出信號（數字） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
| 數字信號可選 | RS485，Modbus，Profibus |
| 輸出信號（模擬） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
| 模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
| 電氣連接 | 8針/9針/15針（根據不同類型流量計而定） |
| 供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC） |
| 供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A） |
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