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      Linetech質量流量計

      簡要描述:

      Linetech質量流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。

      更新時間:2023-01-05

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       Linetech質量流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。

       

       Linetech質量流量計主要參數:

       

      流量范圍:               0.005-1000(slpm)

      響應時間:               ≤2

      精    度:               ≤1%0.2%

      重 復 性:               ±0.25

      輸出信號:               0-5vdc或4-20mA

      供電電壓:               15-28vdc

      溫度范圍:               0-50℃

       

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