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更新時間:2023-01-05
Linetech質量流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。
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Linetech質量流量計主要參數:
流量范圍: 0.005-1000(slpm)
響應時間: ≤2
精 度: ≤1%或0.2%
重 復 性: ±0.25
輸出信號: 0-5vdc或4-20mA
供電電壓: 15-28vdc
溫度范圍: 0-50℃
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