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      linetech氣體質量流量控制器

      簡要描述:

      韓國linetech氣體質量流量控制器耐壓90bar,可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。韓國LINETECH經濟型氣體質量流量控制器Z大流量可測到300SLPM,質量流量計的Z大流量可測到1000SLPM。

      更新時間:2023-01-04

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      一、linetech氣體質量流量控制器產品特點

      • 測量質量流量
      • 無需溫度和壓力補償
      • 結構緊湊
      • 精度高
      • 工作壓力高
      • 響應時間快
      • 重復性高

      二、linetech氣體質量流量控制器技術參數

      型號

      質量流量計

      質量流量控制器

      流量范圍(N2)

        10SCCM~1000SLPM

        10SCCM ~ 300slpm

        響應時間

        <2 sec

        <2 sec

      精準度

        ≤±1% FS

        ≤±1% FS

        重復精度

        ±0.25% FS

        ±0.25% FS

        輸入/輸出信號

      0~5 Vdc OR 4~20 mA

        0~5 Vdc OR 4~20 mA

      供電電源

        ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

        ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

       耐壓

        <90bar

        0-30SLPM,<90bar;30-100SLPM,<70bar,

      100-300SLPM,<15bar

      工作環境溫度

        0~50 °C

        0~50 °C

      漏率

        1*10E-9 atm cc/sec

        1*10E-9 atm cc/sec

      使用范圍

        2 ~ 100%

        2~ 100%


      三、linetech氣體質量流量控制器接口尺寸


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